超純水是一種接近高純度的水，其純凈度是我們日常中喝的礦泉水的4000倍，不過也正因為它的“干凈”，它里面除了水分子外，幾乎沒有什么雜質存在...(也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水)。它沒有細菌、病毒，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，所以看似純凈，卻并不適合飲用，而且超純水在自然界中基本是不存在的，想要獲取需要經過一系列復雜的高科技工藝，才能生產制造出這種水。

　　超純水是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm。

　　預處理

　　包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去1～20微米大小的顆粒，軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢，加氯是為了殺菌。

　　脫鹽

　　反滲透是滲透現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透，脫鹽可達98%，并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。

　　精處理

　　超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內,薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內壁上，超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。

　　如此復雜工藝生產出來的“超純水”，在半導體行業如今正在如火如荼的應用著。超純水可作為芯片生產的清洗用水，直接影響著芯片的良品率，是十分重要的步驟之一。